◼Introduction
RTP 급속 가열 튜브 furnace는 매우 짧은 시간 안에 목표 온도까지 가열할 수 있도록 설계되었습니다. 이 furnace는 CVD 솔루션을 통해 대형 그래핀 가운의 가열 처리로 널리 사용됩니다. 다양한 진공 펌프 스테이션 설정을 통해 RTP 급속 가열 furnace는 제어된 대기 환경과 고진공 환경에서 작동할 수 있으며, 이상적인 열처리 챔버를 만들 수 있습니다. 최대 가열 속도는 1초에 100℃이고, 최대 냉각 속도는 1초에 110℃입니다. 이 제품에는 가열로 튜브 플랜지를 고정하는 슬라이딩 레일이 있어, 가열로 단열 챔버에서 튜브를 쉽게 빼낼 수 있습니다. 온도 센서는 샘플 홀더에 접촉되어 있어, 보다 정확한 온도 제어와 표시가 가능합니다.
◼Detail & Parts
1. 온도 조절 테이블 기능: 30가지 프로그램 가능한 자동 조절 기능, 초온도 및 커플링 파손 보호 기능
2. 고품질 난로 재료: 수입 기술인 다결정 세라믹 파이버를 사용한 난로 재료는 분말이 떨어지지 않고, 단열 성능이 좋고, 반사율이 높으며, 온도 분포가 균일하고, 열팽창 및 수축에 대한 저항력이 있으며, 공간 활용도가 높고, 다기능 소결이 가능하고, 편리하고 실용적
3. 고급 발열체: 고순도 발열체 및 섬유 난로, 내부 청결
◼Applications
RTP 급속 가열 튜브 furnace는 빠른 가열 및 냉각 응용 분야를 위해 설계되었습니다. 이 제품은 다음 분야에서 널리 사용됩니다.
- 그래핀 성장: RTP furnace는 그래핀 전구체를 제어된 분위기에서 고온으로 가열하여 그래핀 성장을 촉진하는 데 사용됩니다.
- 온도 센서 교정: RTP furnace는 온도 센서를 정밀하게 제어된 온도에 노출시켜 교정하는 데 사용할 수 있습니다.
- 재료 시험: RTP furnace는 재료의 용융점, 열전도율 등의 열적 특성을 시험하는 데 사용할 수 있습니다.
- 열처리: RTP 용광로는 재료의 강도, 경도 등 물성을 향상시키기 위해 열처리를 하는 데 사용할 수 있습니다.
- 어닐링: RTP 용광로는 재료를 어닐링하는 데 사용할 수 있습니다. 어닐링은 재료를 고온으로 가열한 다음 서서히 냉각시켜 응력을 완화하고 연성을 향상시키는 과정입니다.
- 브레이징: RTP 용광로는 재료를 함께 브레이징하는 데 사용할 수 있습니다. 브레이징은 재료를 고온으로 가열한 다음 용가재를 녹여 접합하는 과정입니다.
- 소성: RTP 용광로는 휘발성 성분을 제거하기 위해 재료를 고온으로 가열하는 소성 작업에 사용할 수 있습니다.
- 도자기: RTP 용광로는 도자기를 단단하게 하고 강화하기 위해 고온으로 가열하는 도자기 소성에 사용할 수 있습니다.
- 세척: RTP 용광로는 오염 물질을 제거하기 위해 재료를 고온으로 가열하는 세척 작업에 사용할 수 있습니다.
- 결정 성장: RTP 용광로는 재료를 고온으로 가열한 다음 서서히 냉각시켜 결정체를 성장시키는 데 사용할 수 있습니다.
- 소성: RTP 용광로는 재료를 소성하는 데 사용할 수 있습니다. 소성은 재료를 고온으로 가열하여 경화 및 강화하는 것을 말합니다.
- 유리: RTP 용광로는 유리를 녹이고 어닐링하는 데 사용할 수 있습니다. 어닐링은 재료를 고온으로 가열한 다음 서서히 냉각시켜 응력을 완화하고 강도를 향상시키는 것을 말합니다.
- 온도 변화 작업: RTP 가열로를 사용하여 온도 변화를 만들어, 온도가 재료에 미치는 영향을 연구할 수 있습니다.
- 열처리: RTP 가열로를 사용하여 재료의 강도, 경도 등 물성을 향상시키기 위한 열처리를 할 수 있습니다.
- 실험실 연구: RTP 가열로는 재료 과학, 화학, 물리학 등 다양한 실험실 연구 분야에서 사용됩니다.
- 재료 시험: RTP 용광로는 재료의 열적 특성, 예를 들어 융해점, 열전도율 등을 시험하는 데 사용됩니다.
- 용해: RTP 용광로는 금속, 플라스틱 등의 재료를 녹이는 데 사용될 수 있습니다.
- 분말: RTP 용광로는 새로운 재료를 만들거나 기존 재료의 특성을 수정하는 데 사용할 수 있는 분말을 가열하거나 냉각하는 데 사용될 수 있습니다.
◼Principle
RTP 가열관로 원리: RTP 급속 가열관로는 매우 짧은 시간 내에 목표 온도까지 가열되도록 설계되었습니다. 이 장치는 가열 및 단열 챔버에서 가열관로를 밀어내어 빠른 냉각을 가능하게 합니다.
빠른 순환 공기는 야외 환경에서 가열관로의 냉각 속도를 증가시킵니다.
◼Features
RTP 급속 가열 튜브 furnace는 다양한 용도로 사용할 수 있는 강력하고 다재다능한 도구입니다. 주요 특징과 장점은 다음과 같습니다.
- 빠른 가열 및 냉각: RTP 용광로는 단 1분 만에 1000°C까지 가열할 수 있으며, 초당 최대 110°C의 속도로 냉각할 수 있습니다. 따라서 정밀한 온도 제어와 빠른 처리 시간이 필수적인 분야에 이상적입니다.
- 정확한 온도 제어: Furnace의 온도 센서가 샘플과 접촉하도록 배치되어 정확하고 신뢰할 수 있는 온도 제어를 보장합니다. 이것은 반도체 및 기타 전자 장치 생산과 같이 정확한 온도 제어가 필수적인 응용 분야에 매우 중요합니다.
- 제어된 대기 환경: RTP furnace는 제어된 대기 환경을 조성하기 위해 진공 펌프 스테이션을 장착할 수 있습니다. 이것은 산소 또는 기타 가스의 존재가 공정에 해로울 수 있는 응용 분야에 이상적입니다.
- 사용이 쉽습니다: RTP furnace는 사용자 친화적인 인터페이스와 다양한 프로그래밍 가능한 설정으로 설정과 조작이 쉽습니다. 따라서 숙련된 사용자와 초보 사용자 모두에게 훌륭한 선택입니다.
◼Advantages
- 최대 가열 속도는 1초에 100℃이며, 1000℃의 고온을 얻는 데 1분밖에 걸리지 않습니다.
- 최대 냉각 속도는 초당 110℃이며, 제어된 빠른 순환 공기 흐름으로 샘플을 매우 빠른 속도로 냉각합니다.
- Furnace 튜브 플랜지를 고정하는 슬라이딩 레일이 있어 튜브를 furnace 가열 절연 챔버에서 쉽게 빼낼 수 있습니다.
- 샘플 홀더에 접촉하는 온도 센서는 보다 정확한 온도 제어를 가능하게 하고, 온도를 표시합니다.
- 이중으로 된 가마 껍데기 디자인, 가마 표면의 온도를 낮게 유지하기 위해 내부와 외부 껍데기 사이에 강제 공기 흐름
- PID 프로그래밍 가능 온도 제어, 우수한 제어 정확도와 안정적인 가열 성능, 원격 제어 및 중앙 집중식 제어 지원
- RTP Pro는 7인치 TFT 터치스크린 컨트롤러를 적용하여 보다 친숙한 프로그램 설정과 이력 데이터 분석을 가능하게 하고, 다양한 프로그램 레시피를 저장하고 선택할 수 있습니다.
◼Safety Advantage
- Kintek 튜브 furnace는 과전류 보호 기능과 과열 경보 기능을 갖추고 있습니다. 과전류가 감지되면 furnace의 전원이 자동으로 꺼집니다.
- Furnace는 열전대 감지 기능을 내장하고 있습니다. 열전대가 파손되거나 고장이 감지되면 furnace의 가열이 중단되고 경보가 울립니다.
- RTP Pro는 정전 복구 기능을 지원하며, 정전 후 전원이 다시 들어오면 furnace 가열 프로그램이 재개됩니다.
◼Technical specifications
| Furnace 모델 | KT-RTP
|
| 온도 컨트롤러 | 디지털 PID 컨트롤러 |
| 멀티 프로그램 사전 설정 | no |
| 전원 재시작 | no |
| 최대 온도 | 1100℃ |
| 지속 작동 온도 | 1000℃ |
| Furnace 튜브 소재 | 고품질 석영/ Al2O3 알루미나 |
| Furnace 튜브 직경 | 50 / 60 / 80 / 100 mm |
| Heating zone length | 300 / 450 / 600 / 800 mm |
| Vacuum sealing solution | SS 304 단조 플랜지, 단단한 구리 밀폐 링
|
| 정격 진공 압력 | 0.001Pa/10E5 torr |
| 챔버 소재 | 일본 Al2O3 알루미나 섬유 |
| 발열체 | Cr2Al2Mo2 와이어 코일 |
| 온도 센서 | K형 열전대 내장 |
| 온도 조절 정확도 | ±1℃ |
| 전력 공급 | AC110-220V,50/60HZ |
다른 Furnace 튜브 크기 및 가열 구역 길이는 맞춤 제작 가능
| Furnace 모델 | KT-RTP Pro
|
|---|
| 온도 컨트롤러 | 터치스크린 PID 컨트롤러 |
| 멀티 프로그램 사전 설정 | yes |
| 전원 재시작 | yes |
◼Standard Package
| No. | 구성 | 수량 |
|---|
| 1 | Furnace | 1 |
| 2 | 알루미나 튜브 | 1 |
| 3 | 진공 플랜지 | 2 |
| 4 | Tube thermal block
| 2 |
| 5 | 튜브형 열 차단 후크 | 1 |
| 6 | 내열 장갑 | 1 |
| 7 | 사용설명서 | 1 |
◼Optional Setup
- 튜브 가스 검출 및 모니터링(예: H2, O2 등)
- 독립적인 용광로 온도 모니터링 및 기록
- PC 원격 제어 및 데이터 내보내기를 위한 RS 485 통신 포트
- 질량 유량계 및 부유식 유량계와 같은 가스 공급 유량 제어 장치 삽입
- 다양한 사용자 친화적 기능을 갖춘 터치스크린 온도 조절기
- 베인 진공 펌프, 분자 펌프, 확산 펌프와 같은 고진공 펌프 스테이션 설정
