◼Introduction
플라즈마 강화 화학 기상 증착(PECVD)은 증기 또는 가스를 전구체로 사용하여 코팅을 생성하는 진공 박막 증착 공정입니다. PECVD는 열 대신 플라즈마를 사용하여 소스 가스 또는 증기를 활성화하는 화학 기상 증착(CVD)의 변형입니다. 고온을 피할 수 있기 때문에 가능한 기판의 범위가 낮은 융해점 재료로 확장됩니다. 경우에 따라 플라스틱까지도 가능합니다. 또한, 증착할 수 있는 코팅 재료의 범위도 넓어지고 있습니다. PECVD는 유전체, 반도체, 금속, 절연체 등 다양한 재료를 증착하는 데 사용됩니다. PECVD 코팅은 태양 전지, 평면 패널 디스플레이, 마이크로 일렉트로닉스 등 다양한 분야에
사용됩니다.
◼Applications
플라즈마 강화 화학 기상 증착(PECVD) 코팅 기계는 다양한 산업과 응용 분야에 적합한 다목적 솔루션을 제공합니다.
- LED 조명:** 발광 다이오드(LED)용 고품질 유전체 및 반도체 필름 증착
- 전력 반도체:** 전력 반도체 장치의 절연층, 게이트 산화물 및 기타 중요 구성 요소 형성
- MEMS:** 센서 및 액추에이터와 같은 마이크로 전자 기계 시스템(MEMS)용 박막 제조
- 광학 코팅:** 반사 방지 코팅, 광학 필터, 기타 광학 부품의 증착
- 박막 태양 전지:** 태양 전지 장치용 비정질 및 미세 결정질 실리콘 박막의 생산
- 표면 개질:** 부식 저항성, 내마모성, 생체 적합성 등의 표면 특성 향상
- 나노 기술:** 나노 입자, 나노 와이어, 박막을 포함한 나노 물질의 합성
◼Technical specifications
◼Features
플라즈마 강화 화학 기상 증착(PECVD) 코팅 기계는 생산성을 향상시키고 탁월한 결과를 제공하는 수많은 장점을 제공합니다.
- 저온 증착: 전통적인 CVD 방법보다 훨씬 낮은 온도에서 고품질의 필름을 형성할 수 있어, 섬세한 기질에 적합합니다.
- 높은 증착률: 필름을 빠르게 증착하여 효율성을 극대화함으로써 생산 시간을 줄이고 생산량을 늘립니다.
- 균일하고 균열에 강한 필름: 일관된 필름 특성을 보장하고 균열 위험을 최소화하여, 신뢰할 수 있고 내구성 있는 코팅을 가능하게 합니다.
- 기판에 대한 우수한 접착력: 필름과 기판 사이에 강한 접착력을 제공하여 오래 지속되는 성능을 보장하고 박리를 방지합니다.
- 다목적 코팅 기능: SiO2, SiNx, SiOxNy를 포함한 다양한 재료의 증착을 가능하게 하여 다양한 응용 분야의 요구 사항을 충족합니다.
- 복잡한 형상을 위한 맞춤화: 복잡한 모양의 기판을 수용하여 균일한 코팅과 최적의 성능을 보장합니다.
- 낮은 유지보수 비용과 용이한 설치: 가동 중단 시간을 최소화하고 설정을 단순화하여 생산성과 비용 효율성을 향상시킵니다.
◼Principle
플라즈마 강화 화학 기상 증착(PECVD)은 증착 과정에서 플라즈마를 사용하여 화학 반응을 촉진함으로써 저온에서 고품질의 고체 필름을 형성할 수 있도록 합니다. PECVD 장비는 고에너지 플라즈마를 사용하여 반응 속도를 높이고 반응 온도를 낮춥니다. 이 기술은 LED 조명, 전력 반도체, MEMS에 널리 사용됩니다. SiO2, SiNx, SiOxNy 및 기타 매체 필름의 증착과 복합 기판에 SiO 두꺼운 필름의
고속 증착이 가능합니다. PECVD는 우수한 필름 형성 품질을 제공하고, 핀홀을 최소화하며, 균열을 줄여 무정형 및 미세 결정질 실리콘 박막 태양 전지 장치 생산에 적합합니다.
◼Advantage
- 다양한 재료의 증착 능력: PECVD는 다이아몬드와 같은 탄소, 실리콘 화합물, 금속 산화물을 포함한 다양한 재료를 증착할 수 있어, 특정한 특성을 가진 필름을 만들 수 있습니다.
- 저온 작동: PECVD는 저온(일반적으로 300-450°C)에서 작동하기 때문에 열에 민감한 기질에 적합합니다.
- 고품질의 박막: PECVD는 균일성, 두께 조절, 균열 저항성이 뛰어난 박막을 생산합니다.
- 우수한 접착력: PECVD로 증착된 박막은 기판에 대한 접착력이 강해 내구성과 신뢰성을 보장합니다.
- 컨포멀 코팅: PECVD는 복잡한 형상의 코팅이 가능해 균일한 커버리지와 보호 기능을 제공합니다.
- 높은 증착률: PECVD는 빠른 증착률을 제공해 생산성을 높이고 생산 시간을 단축합니다.
- 낮은 유지보수 비용: PECVD 시스템은 유지보수가 적게 필요하도록 설계되어, 가동 중단 시간을 최소화하고 가동 시간을 극대화합니다.
- 쉬운 설치: PECVD 장비는 설치가 비교적 쉽고, 기존 생산 라인에 통합하기가 쉽습니다.
- 견고한 설계: PECVD 시스템은 견고한 설계로 만들어져 안정성과 오래 지속되는 성능을 보장합니다.
- 긴 작동 수명: PECVD 시스템은 오래 사용할 수 있도록 설계되어, 장기적인 박막 증착 요구에 맞는 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다.
