킨텍솔루션 (Kintek Solution) l HFCVD for Drawing Die Nano-diamond Coating

◼ 제품 설명

MPCVD는 진공 챔버, 마이크로웨이브 발생기, 가스 전달 시스템을 사용하여 기판에 박막을 증착하는 시스템입니다.
챔버 내부에서는 마그네트론 또는 클라이스트론이 2.45GHz의 마이크로파를 발생시켜 플라즈마를 생성합니다.
가스 전달 시스템에는 가스 흐름을 제어하기 위해 sccm으로 보정된 MFC가 있습니다.
기판 온도는 플라즈마에 의해 제어되고 열전대에 의해 측정됩니다.
플라즈마가 기판을 가열하고 증착하는 동안 온도가 모니터링됩니다.

◼Applications

다이아몬드 작동 원리는 탄소 함유 대기와 과포화 수소를 혼합하고 특정 방식으로 활성화한 다음 특정 대기 조성, 활성화 에너지, 기판 온도, 기판과 활성화 소스 사이의 거리 등을 통과시키는 것입니다. 이러한 조건에서 다이아몬드 필름이 바닥 표면에 증착됩니다. 일반적으로 다이아몬드 필름의 핵 형성 및 성장은 세 단계로 나눌 수 있다고 알려져 있습니다.

탄소 함유 기체와 라돈 기체는 특정 온도에서 탄소, 수소 원자 및 기타 활성 자유기로 분해됩니다. 이들은 매트릭스와 결합하여 먼저 매우 얇은 카바이드 전이 층을 형성합니다.
탄소 원자는 기판에 형성된 전이 층에 다이아몬드 핵을 침착시킵니다.
형성된 다이아몬드 결정 핵은 적절한 환경에서 다이아몬드 마이크로 아이템으로 성장한 다음 다이아몬드 필름으로 성장합니다.

◼ Detail & Parts

◼ Technical specifications

나노 다이아몬드 복합 코팅 드로잉 다이는 초경합금 (WC-Co)을 기판으로 사용하고 화학 기상 법 (줄여서 CVD 법)을 사용하여 금형 내부 구멍 표면에 기존 다이아몬드와 나노 다이아몬드 복합 코팅을

코팅합니다. 그리고 코팅을 연마하고 연마 한 후 얻은 새로운 제품입니다. 내부 구멍 표면에 코팅 된 나노 다이아몬드 복합 코팅은 기존 다이아몬드 코팅의 강한 접착력과 내마모성의 특성을 가질뿐만

아니라 나노 다이아몬드 코팅의 평평하고 매끄러운 표면, 작은 마찰 계수 및 쉬운 연삭 및 연마의 장점도 가지고 있습니다. 코팅 기술은 코팅 접착력의 기술적 문제를 해결할뿐만 아니라 다이아몬드 코팅

표면이 연마하기 쉽지 않은 병목 현상을 돌파하고 CVD 다이아몬드 필름의 산업화 장애물을 제거합니다.

기존 다이와 나노 다이아몬드 코팅 드로잉 다이의 비교표

기술 지표	전통 드로잉 다이	나노 다이아몬드 코팅 드로잉 다이
코팅 표면 입자 크기	없음	20~80nm
코팅 다이아몬드 함량	없음	≥99%
다이아몬드 코팅 두께	없음	10 ~ 15mm
표면 거침 정도	Ra≤0.1mm	Class A: Ra≤0.1mm Class B: Ra≤0.05mm
코팅 도면 다이 내부 홀 직경 범위	Ф3 ~ Ф70mm	Ф3 ~ Ф70mm
서비스 수명	수명은 근무 조건에 따라 달라집니다.	6~10배 더 길어짐
표면 마찰 계수	0.8	0.1

장비의 금형 리프팅 플랫폼의 평행성과 직진성을 위해 당사는 특수 툴링을 특별히 제작했습니다. 이축 리프팅 방식은 양쪽 끝을 약 ±2 와이어만큼 올리고 내릴 수 있으므로 더 작은 금형을 만들 수 있습니다.
장비의 툴링의 경우 당사는 금형의 툴링 및 공정을 목표로 각 회사의 위치를 툴링에 통합합니다. 좋은 툴링 및 클램핑, 안정적이고 신뢰할 수 있으며 고정밀, 작동하기 쉽습니다.
장비의 차단 밸브의 경우 다른 제조업체는 선형으로 조정할 수없는 배플 밸브를 사용합니다 (즉, 열리 자마자 간격이 빠르게 증가 함). 우리 회사는 차단 밸브의 원리와 안정적인 압력 제어에 따라 설계하여 차단 간격을 선형 적으로 조정하여 안정적인 압력 제어를 달성 할 수 있도록합니다;
완전 자동 제어 시스템은 컴퓨터 알고리즘에 따라 압력을 자동으로 제어하여 작업자의 임의성을 줄이고 프로세스를보다 기밀로 만들 수 있습니다. 노동력을 절약하고 동일한 사양의 금형 품질의 일관성이 더 이상적입니다.
리프팅 벨 항아리의 안정성을 위해 당사는 자체 윤활 베어링을 사용하여 회전을보다 유연하고 걸림없이 만듭니다. 기본 공정, 다이아몬드 코팅은 각 고객의 다이아몬드 코팅 공정에 따라 만들 수 있습니다.

*Warnings*

운영자의 안전이 가장 중요한 문제입니다! 주의를 기울여 장비를 작동하세요. 인화성 및 폭발성 또는 독성 가스로 작업하는 것은 매우 위험하므로 작업자는 장비를 시작하기 전에 필요한 모든 예방 조치를 취해야 합니다. 원자로 또는 챔버 내부에서 양압으로 작업하는 것은 위험하므로 작업자는 안전 절차를 엄격하게 준수해야 합니다. 특히 진공 상태에서 공기 반응성 물질로 작업할 때는 더욱 주의를 기울여야 합니다. 누출이 발생하면 장치 내부로 공기가 유입되어 격렬한 반응이 일어날 수 있습니다.