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[Kintek Solution] 2450MHz Cylindrical Resonator MPCVD

MPCVD는 마이크로웨이브 플라즈마 화학 기상 증착(Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition)의 약자입니다. 탄소 함유 가스와 마이크로파 플라즈마를 사용하여
실험실에서 고품질의 다이아몬드 필름을 성장시키는 방법입니다. 


Microwave PowerMicrowave frequency 2450±15MHZ
Output power
1～10 KW continuously adjustable
Microwave leakage
≤2MW/cm2
Output wave guide interface
WR340, 430 with FD-340, 430 standard flange
Sample holder
Diameter of sample table≥72mm, effective use area≥66 mm


제품명    KTWB315

제조사    Kintek Solution

제조국    China

◼ 제품 설명


  • MPCVD는 진공 챔버, 마이크로웨이브 발생기, 가스 전달 시스템을 사용하여 기판에 박막을 증착하는 시스템입니다. 
  • 챔버 내부에서는 마그네트론 또는 클라이스트론이 2.45GHz의 마이크로파를 발생시켜 플라즈마를 생성합니다. 
  • 가스 전달 시스템에는 가스 흐름을 제어하기 위해 sccm으로 보정된 MFC가 있습니다. 
  • 기판 온도는 플라즈마에 의해 제어되고 열전대에 의해 측정됩니다. 
  • 플라즈마가 기판을 가열하고 증착하는 동안 온도가 모니터링됩니다.



◼ Applications


MPCVD는 저비용으로 고품질의 대형 다이아몬드를 생산할 수 있는 가능성을 보여줍니다.


다이아몬드는 경도, 강성, 높은 열전도율, 낮은 열팽창, 방사선 경도, 화학적 불활성과 같은 고유한 특성으로 인해 귀중한 소재입니다. 하지만 천연 및 합성 고압, 고온 다이아몬드의 높은 비용, 제한된 크기, 불순물 제어의 어려움으로 인해 그 활용도가 제한적이었습니다.


MPCVD는 단결정 또는 다결정 다이아몬드 원석과 필름을 성장시키는 주요 장비입니다. 반도체 산업에서는 대형 다이아몬드 기판뿐만 아니라 다이아몬드 절삭 또는 드릴링 공구 산업에서도 다이아몬드 필름 성장을 광범위하게 사용합니다.


실험실에서 성장하는 다이아몬드를 위한 HPHT 방식에 비해 마이크로파 CVD 방식은 저렴한 비용으로 대형 다이아몬드 성장에 유리하므로 반도체 다이아몬드, 광학 다이아몬드 성장 및 대형 주얼리 다이아몬드 시장에 이상적인 솔루션이 될 수 있습니다.



Rough diamonds grown by KINTEK MPCVD diamond machine
Rough diamonds grown by KINTEK MPCVD diamond machine
In KinTek MPCVD Machine, diamonds are growing
In KinTek MPCVD Machine, diamonds are growing